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平面度测试仪
平面度测试仪

型号:VMP-541CNC
名称:平面度测试仪测试仪
生产企业:广东源兴诡谷子光学智能科技有限公司
注释:更多详细产品信息,请联系我们获取

平面度测试仪

  • 详情说明

产品简介

平整度工作原理:被测工件(置于工作台上)由视觉镜头搭载相机,对被测量表面进行对位,获取各点坐标值经过光谱共焦线激光,对被测零件表面进行扫描拼接,采用几何测量软件对零件高度数据进行拟合计算,输出平整度,平面度,翘曲度,高度差,V卡深度等数据,同时可以测量二维平面表面各种几何尺寸和形位公差。

产品优势

1.采用龙门式结构,“00”级花岗石底座、立柱、工作台,长期使用保证基准面不变形,保证机械系统极高的稳定性。
2.采用日本进口导轨和研磨丝杆,保证仪器最小机构误差,保证整机测量精度。
3.选择高强度真空吸附平台,三轴松下伺服电机。
4.高精度线扫激光:

参考距离(CD)①

60mm

Z轴高度(FS)

8.5mm

 

X轴宽度

近端

16mm

参考距离

17mm

远端

17.6mm

 

Z轴重复精度②

0.15μm

X轴重复精度

1.5μm

X轴数据间隔

5.5μm

Z轴线性度

X轴轮廓点数

      反射角度(°)

35

扫描速度(Hz)

     3200-67000

整机参数

仪器型号

YVM-322CNCJ

YVM-432CNCJ

YVM-542CNCJ

测量行程(mm)

300x200x200

400x300x200

500x400x200

外形尺寸(mm)

760x650x1100

860x750x1100

960x850x1100

玻璃承重(kg)

40

40

40

仪器重量(kg)

280

320

380

测量精度

X,Y2.5+L/200)μm   Z:小于等于:5um(激光量程范围)

重复精度

2μm

光栅尺分辨率

0.5μm

放大倍率

影像放大倍率20200X

光源

表面光:5环 8 区 LED 冷光源,256 级亮度可调

真空吸附

超过精度真空吸附平台

操作方式

鼠标+摇杆控制

电源

220VAC  50Hz

应用领域

油墨到绿油基面高度和平面度 FPC平面度 电感器 电容器 二极管 光学元件 航空航天零部件 金手指 汽车零部件

联系方式/Contact

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